逆天了！单芯片上制造上万晶体管

11月4日消息，美国IBM公司使用标准的主流半导体工艺，将一万多个碳纳米管打造的晶体管精确放置在了一颗芯片内，并且通过了测试。

多 年来，我们的芯片都根据摩尔定律发展：从以前的微米单位到现在的纳米单位，从以往的90纳米到65纳米到现在的32纳米。但随着工艺的加强，良品率逐渐降 低，而且难以再提升，人们一直期望找到一种新的材料，可以替代传统芯片中的硅，以便延续摩尔定律，而IBM迈进了第一步。

作为一种半导体材料，碳纳米管有着很多优于硅的天然属性，特别适合在几千个原子的尺度上建造纳米级晶体管，其中的电子也可以比硅晶体管更轻松地转移，实现更快速的数据传输，纳米管的形状也是在原子尺度上组成晶体管的上佳之选。

IBM的成果表明，人们可以在预定的基底位置上用大量的碳纳米管晶体管蚀刻集成电路，其中隔离半导体纳米管、在晶圆上放置高密度碳材料设备尤为关键，因为最终商业性芯片需要集成数以几十亿晶体管。

IBM 首先给碳纳米管涂上一种表面活性剂(想象成使之更易溶于水的“肥皂”)，然后用化学处理过的氧化铪(HfO2)和二氧化硅(SiO2)制作基底，其中沟槽 部分使用氧化铪，再将基底放到碳纳米管溶液里，纳米管就会通过化学键附着到氧化铪沟槽里，而基底的其他部分仍然是“干净”的，最终得以在单个芯片上制造上 万个晶体管。

1.碳纳米管溶液

在这种黑色溶液中，IBM放入了碳纳米管（碳纳米管是由碳元素构成的一个中空管状结构，直径在几纳米至几十纳米之 间，长度可达数微米）。IBM公司于10月28日宣布，其研究人员已经找到了一种将碳纳米管精确地放置在电脑芯片上的方法。这项新技术增加了碳纳米管在未 来替代硅晶体管的可能性。

2.碳纳米管模型

没有端盖的碳纳米管模型。

3.排列在氧化铪沟槽中的碳纳米管

这个计算机模型显示了碳纳米管是怎样在暴露的二氧化铪沟槽中与一种特殊料材涂层相结合的。

4.IBM碳纳米管安置示范

图中的暗线是碳纳米管，它们有时会被置于沟槽中，但也并不总是如此。IBM放置碳纳米管的准确度越高，它们就越有可能被用在计算机芯片的半导体器件中。IBM目前放置碳纳米的管密度为每平方厘米1亿个。