La Luce Cristallina推出兼容CMOS的氧化物伪衬底，助力量子与射频应用规模化

La Luce Cristallina公司近日宣布推出全新的兼容CMOS氧化物伪衬底产品。该公司总部位于美国德克萨斯州奥斯汀，专注于面向硅光子领域的硅集成高性能材料研发，尤以钛酸钡（BaTiO3）材料为核心方向。

这一新平台可在200mm硅晶圆及绝缘体上硅（SOI）晶圆上直接外延生长高质量钛酸锶（SrTiO3）薄膜，有效弥合了学术氧化物研究与商业化制造之间的鸿沟，使业界能够借助标准半导体工具开发先进氧化物器件。该方案可支持超导射频电子器件、超低损耗射频元件、单光子探测器、量子传感、先进计算架构等多类新兴应用，与硅光子及异构集成领域的发展方向高度契合。

打破研究瓶颈，迈向晶圆级制造

长期以来，研究人员不得不依赖体积小、成本高的单晶SrTiO3衬底，而这类衬底与标准晶圆厂工艺流程并不兼容。La Luce Cristallina表示，其伪衬底平台通过与异构集成、共封装光学、晶圆级原型开发及下一代光子技术的代工厂路线图对齐，从根本上消除了上述瓶颈，实现了制造可扩展性。该方案提供大面积晶圆、高质量外延薄膜（厚度范围4nm至50nm），并完全兼容标准CMOS工具。

公司联合创始人兼首席技术官Agham Posadas表示："我们推出的兼容CMOS氧化物伪衬底，将高性能氧化物电子器件从实验室带到了行业标准硅晶圆上，为射频元件和量子应用的可扩展器件开发打开了大门。通过降低成本、提升可扩展性并消除CMOS工具兼容性障碍，我们能够帮助硅光子生态系统中的客户加速创新。"

广阔市场前景

La Luce Cristallina表示，其晶圆级方案在保持薄膜质量的同时大幅扩展了可用面积，能够服务于多个快速增长的市场。射频元件市场预计将从目前的500亿美元增长至2030年的911.9亿美元，受国防、传感、5G部署及卫星通信等领域强劲需求驱动。在政府资金大力支持下，量子技术市场（涵盖传感、探测及超导电子器件）预计将以41.8%的年均复合增长率扩张，到2030年达到202亿美元规模。

该平台还可支持高校、国家实验室及企业研发团队开展氧化物电子研究，满足此前因衬底供应受限而无法推进的研究需求。目前，La Luce Cristallina已服务于集成光子研究、量子计算及其他先进电子领域的多类客户。

Ambature Inc.首席执行官Ron Kelly对此评价道："La Luce Cristallina的兼容CMOS氧化物伪衬底扫除了氧化物电子器件规模化道路上最大的障碍之一。通过在200mm硅晶圆上利用标准半导体工具实现高质量钛酸锶薄膜的生长，La Luce Cristallina正帮助Ambature等企业将先进射频和量子技术从研究环境推向现实应用系统。"

Q&A

Q1：La Luce Cristallina推出的兼容CMOS氧化物伪衬底主要解决什么问题？

A：该衬底平台主要解决传统单晶SrTiO3衬底体积小、成本高且与标准晶圆厂工艺不兼容的问题。通过支持在200mm硅晶圆及SOI晶圆上直接外延生长高质量钛酸锶薄膜，并完全兼容标准CMOS工具，该方案让氧化物电子器件的规模化制造成为可能，填补了学术研究与商业生产之间的空白。

Q2：兼容CMOS氧化物伪衬底能支持哪些应用领域？

A：该平台支持多类新兴应用，包括超导射频电子器件、超低损耗射频元件、单光子探测器、量子传感及先进计算架构等，同时与硅光子和异构集成方向高度契合。此外，它还可服务于高校、国家实验室及企业研发团队，尤其适用于此前受衬底供应制约的氧化物电子研究场景。

Q3：氧化物伪衬底平台所针对的市场规模有多大？

A：射频元件市场预计从目前约500亿美元增长至2030年的约912亿美元，增长动力来自国防、传感、5G及卫星通信等领域；量子技术市场则预计以41.8%的年均复合增长率增长，到2030年达202亿美元，整体市场前景广阔，该平台具备显著的商业化潜力。